高低温真空磁场探针台 实验仪器，腔体材质为无磁不锈钢或铝合金，样品台材质为镀金无氧铜，双极性配套的电源。
高低温真空磁场探针台 实验仪器 产品详情
高低温真空磁场探针台
产品概述：
高低温真空磁场探针台 实验仪器，此款探针台是具备提供高低温、真空以及磁场环境的高精度实验台，它的诸多设计都是的。因此，其配置主要是根据用户的需求进行选配及设计。例如，要求的磁场值，均匀区大小、均匀度大小、样品台的尺寸等，均于磁力线在一定区域内产生的磁通密度相关联；位移台还可与磁流体密封搭配，实现水平方向二维移动和样品台360度转动；除此之外，该探针台和我司自主研发的高精度双极性恒流电源搭配使用户，可以磁场的高稳定性。因此，该类型的探针台主要依据客户的使用情况进行设计优化。
探针台配备4个（可选6个或8个）拥有高精度位移的探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等，广泛应用于半导体工业、mems 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。
应用范围：
磁特性测试、微波特性测试、直流、rf特性测试，微电子机械系统，超导电性测试，纳米电路的光电属性，量子点和线，高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等。
可选附件：
þ各类dc探针、高频探针、主动式探针、电缆线
þccd或c-mos视频成像装置
þchuck运动装置
þ电磁铁系统/超导磁铁系统
þ1mpa正压系统升级
þ超高温升级选件
þ超高真空升级选件
þ各类探针夹具
þ屏蔽箱
þ防振桌
þ转接头
þ静音真空泵
技术指标：
高低温真空磁场探针台
型号
t8-em4
t8-em5
t8-em7
真空度
真空10-8pa
腔体材质
无磁不锈钢或者铝合金
磁场范围
2000gs @50mm
5000gs@50mm
1t@50mm
磁场方向
水平（可按用户要求设计成竖直方向的）
配套电源
双极性电源±50a
双极性电源±70a
双极性电源±90a
电源稳定性
50ppm（可选10ppm）
制冷方式
液氦/液氮制冷/闭循环制冷机
温度范围
5k-325k可选500k
控温分辨率
0.001k控温仪相关
温度稳定性
优于0.1k依赖于控温仪
温度传感器
硅二极管/pt100/cernoxtm
传感器数量
样品台、防辐射屏、探针臂各一个
样品台尺寸（max）
φ50mm，平整度≤7μm
样品台固定方式
真空硅脂/弹簧压片
样品台材质
镀金无氧铜
显微镜行程
x、y平面2*2inch，精度1μm，z轴行程≥50.8mm
放大倍数
16~100x/20~4000x
真空腔观察窗尺寸
1inch
1.5inch
2inch
窗口材料
熔融石英（可选k9、氟化钙等）
探针臂数量
2、4、6、8可选
探针臂行程
(x-y-z)25mm-25mm-12mm可更换
位移精度
10μm /2μm/1μm/0.7μm可选
接口形式
普通真空接头/三同轴接头/bnc/sma等
探针直径
0.51mm
针尖直径
10μm/5μm/1μm可选
探针材料
钨/ggb
供电电压
ac220v 50hz/60hz
ac380v 50hz/60hz
探针台选型注意事项
※大需要测几inch的晶圆或者器件？是否需要测试破片或者单颗芯片，小的单颗芯片尺寸？
※探针台机械精度要求多高？
※点测样品的电极尺寸？100μm *100μm或60μm *60μm的pad，还是fib制作的mini pad，或者ic内部的metal线路？
※多需要几个探针同时去点测？
※是否会用到探针卡测试？
※光学显微镜的小分辨率需要用到多少？
※显微镜方面，是否需要添加偏光片做lc液晶热点侦测？
※探针点测时，对电流的要求是否达到100fa或者以下？低电容要求是否要做到0.1pf？是否有射频需求？
※接驳的测试仪器接口有哪些？
※测试环境时是否会需要加热或者降温？是否需要密闭腔体？
※对chuck的漏电要求怎样？是否需要添加低阻抗chuck？
※是否需要防震桌？
※若添置防震桌，是否有压缩空气？