根据真空度，真空环境至少可分为真空和超高真空，真空度达到10^-6mbar，即为中等真空环境，而真空度达到10^-9mbar，即可称为超高真空。
xd731系列压电纳米定位台是专为真空应用环境而设计，它的真空兼容度可达10^-7mbar。它可同时在x、y、z三个方向进行纳米级位置调整，具有优秀的灵活性。
特点
•三维xyz运动
•真空兼容
•外形紧凑
•可选配闭环传感器
典型应用
•真空环境三维快速扫描
•纳米定位
•生物技术
•量子测量
控制电压与位移曲线
xd731系列真空三维压电纳米定位台可选配闭环传感器，经过实测，在闭环条件下，驱动控制电压与实际位移间的曲线如下图所示。
谐振频率
经过实测，xd731系列闭环真空压电纳米定位台的空载谐振频率大于400hz，加载250g负载情况下的谐振频率大于150hz。
定制设计真空版本
芯明天公司接受各类真空版本压电产品的定制。
根据用户提供的真空参数需求及真空条件，芯明天基于柔性挠曲机械设计一维或多维的压电纳米定位台，在设计过程，既保证参数的达标，并着重考虑真空条件下的材料选择，不对真空环境产生不利影响，并使每个运动轴的运动控制精度达到最佳状态。
而真空实验环境的空间通常会受限，芯明天不仅在参数、材料上*优化，并在外观、尺寸等方面进行*优化。
真空法兰
为保证真空度及更好的工作状态，真空环境中压电纳米定位台与真空腔外的压电控制器间需通过真空法兰进行连接。芯明天公司可为用户配备各种规格尺寸的真空法兰，为用户在真空环境下的定位系统安装提供便利。
xd731系列技术参数
型号 xd731.xyz100sxd731.xyz100k 单位
运动自由度 x、y、z
驱动行程 4路驱动
标称行程（0~120v） 80/轴 μm
行程范围（0~150v） 100/轴 μm
传感器类型 sgs/-
闭/开环分辨率 3/1 nm
闭环线性度 0.07/- %f.s.
闭环重复定位精度 0.03/- %f.s.
俯仰/偏航/滚动 ≤35 μrad
推/拉力 50/15 n
运动方向刚度 1.5/1.5/0.9 n/μm
空载谐振频率 400 hz
带载250g谐振频率 150 hz
空载阶跃时间 20 ms
加载250g负载阶跃时间 30 ms
承载能力 0.5 kg
静电容量 7.2/轴 μf
台体材质 钢、铝
台体质量 680 g
使用环境真空度 10e-7 mbar
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